全氟聚醚潤滑油在半導體領域的應用

•同級品中近乎最低的全球暖化潛勢GWP

•不易燃

•液態時具有極佳的熱穩定性

•對於異材質有極佳的相容性

•優良的化學特性

•良好的絕緣效果可用於無塵室設備潤滑

•低散射– 極低的氣體釋放

•電子拋光的效能提升

•對電路板不產生反應

•不粘滑-確保自動化設備效能

•低位移

•低揮發

產品應用

•適用於需具高潔淨度條件之電子業真空泵潤滑油

•可符合離子蝕刻、LPCVD和等離子培植類型之半導體生產所需的真空機械泵

•可應用於在具有腐蝕性氣體存在下使用的真空泵(旋轉葉片泵、渦輪分子泵、魯式真空泵、多段魯式真空泵和擴散泵等)。

產品包裝/運輸

•PE塑膠桶，每桶1公斤、5公斤、10公斤，或依需求客製化包裝

•本產品採非危險品液體運輸即可。

產品儲存

•避免與其他油品混和、密封、乾燥可長期儲存

•避免接觸氯化鋁類之路易斯酸避免產生分解